Aplicación de tricina |CAS:5704-04-1|en el campo de las obleas semiconductoras

Aplicación de tricina |CAS:5704-04-1|en el campo de las obleas semiconductoras

2022-08-11

La tricina ( CAS: 5704-04-1 ) es un excelente amortiguador de productos anfóteros. La patente CN106085245B introduce un pulido mecánico químico (CMP)

preparación del cobre , y sus componentes principales son los siguientes:

Material particulado ( 0,001-0,25 % ) : material particulado seleccionado entre sílice pirogénica, sílice coloidal, alúmina pirogénica, alúmina coloidal, ceria, titania, zirconia, poliestireno, ésteres de polimetilmetacrilato, mica, silicatos de aluminio hidratados y mezclas de los mismos .

Al menos dos aminoácidos ( 0,01-16 % ) : aminoácidos seleccionados independientemente de glicina, serina, lisina, glutamina, L-alanina, DL-alanina, beta-alanina, ácido iminoacético, asparagina, ácido aspártico, valina, sarcosina, N-bis(hidroxietilo) glicina, tricina , prolina y mezclas de los mismos .

Agente oxidante ( 0,25-5 % ) : el agente oxidante se selecciona de peróxido de hidrógeno, dicromato de amonio, perclorato de amonio, persulfato de amonio, peróxido de benzoilo, bromato, hipoclorito de calcio, sulfato cérico, sal de ácido clórico, trióxido de cromo, trióxido de hierro, cloruro férrico , yodato, yodo, perclorato de magnesio, dióxido de magnesio, nitrato, ácido peryódico, ácido permangánico, dicromato de potasio, ferricianuro de potasio, permanganato de potasio, persulfato de potasio, bismuto de sodio, clorito de sodio, dicromato de sodio, nitrito de sodio, perborato de sodio, sulfato, ácido peracético , peróxido de urea-hidrógeno, ácido perclórico, peróxido de butilo diterciario, monopersulfato, dipersulfato y combinaciones de los mismos .

Inhibidor de corrosión (0,00001- 2 %): El inhibidor de corrosión se selecciona de compuestos cíclicos que contienen nitrógeno, y los compuestos cíclicos que contienen nitrógeno se seleccionan de 1,2,3-triazol, 1,2,4-triazol, 5-metilbenzotriazol, benzotriazol, 1-hidroxibenzotriazol, 4- hidroxibenzotriazol, 4-amino-4H-1,2,4-triazol, bencimidazol, 5-aminotriazol, benzotiazol, triazinatiol, triazina ditioles y triazina tritioles, isocianuratos y combinaciones de los mismos.

Referencias

CN106085245B

Pulido mecánico químico de cobre de baja inclinación.

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